Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
| Autor | (Taschenbuch) |
| Número de artículo | 5329565032 |
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Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen 10 nm gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen.
Das Lehrbuch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Integrationstechnik bei der Silizium-Halbleitertechnologie. Diese setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen.
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Das vorliegende Studienskript "Silizium-Halbleitertechnologie" ist aus der Vorlesung "Halbleitertechnologie" entstanden, die seit dem Winter semester 1989/90 an der Universität Dortmund und seit 1999 auch an der Universität Paderbom gelesen wird. Um die rasante Entwicklung der Prozesstechnik
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Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik. von Ulrich Hilleringmann | 27. Mai 2008. 4,0 von 5 Sternen 1. Taschenbuch